智能型Thick800A是专门研发的一款上照式膜厚测试仪。仪器外观简洁大方，通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动，双激光定位和保护系统，实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦精准分析。 性能优势 高端配置——采用高分辨率SDD探测器;分辨率高达140eV 上照式设计——实现微小不规则表面样品如弧形，拱上照式设计形，凹槽，螺纹等异形的快、准、稳高效检测 高精度自动化的X轴Y轴Z轴的联动装置实现对样品的精准对焦快速检测 采用高度自动定位激光，可快速精准定位测试高度，以满足不同尺寸的镀层测试 多种准直孔可供选择——准直孔：0.05*0.3mm；Ф0.1mm；Ф0.2mm；Ф0.3mm；Ф0.5mm 定位精准——样品可快速精准定位 操作简易——全自动智能集成设计，让检测轻松完成 技术优势 仪器配置高 图1 图2 智能型Thick 800A采用的是业内最高端的SDD半导体电制冷探测器，分辨率可达140eV,可以很好的区分相邻元素谱峰。 以Au/Ni/Cu镀层为例，正比计数盒仪器谱图如图一，从谱图可以看出铜镍两元素的谱峰重叠严重，金的峰形与样品本底重叠；不利于元素准确分析。 图二是半导体SDD仪器测试Au/Ni/Cu的光谱图，从谱图可以看出铜镍金这三个元素的谱峰得到很明显的区分，有利于元素精准分析。 聚焦光路设计 智能型Thick 800A采用独特的光路交换装置，让X射线与摄像光处于同一垂直线，达到激光点与测试点一体，且X光高度聚焦；配合FP软件达到对焦变焦功能，实现微小不规则样品的精准测试；高集成的光路交换装置与接收器的角度可缩小一倍，有效的减少弧度倾斜放样带来的误差。 特制滤波片实现低背景测量   通过特制滤波片可以有效降低X荧光的吸收与增强作用，减小背景散射，提高对超薄金属元素的检出限（最低可以达到0.005um），实现超薄金属镀层厚度分析。   高精度定位技术 高精度移动平台可精确定位测试点，平台电机重复定位精度小于0.005mm；移动平台可通过测试软件可视化操作：鼠标可控制移动平台，鼠标点击的位置就是被测点。 FP算法 智能型Thick 800A分析核心技术----FP算法 元素厚度精准检测 微区分析、薄膜分析、高级次谱线分析 更加专业和人性化的测试软件 ①主界面增加曲线快速切换功能； ②鼠标移动快捷键更改不需要ctrl，鼠标点哪，样品平台就会移动到哪里，更加方便客户测试； ③镀层厚度自动判定，客户可以根据需要自定义判定标准； ④工作曲线界面加入备注名称可编辑，并可以显示在主界面曲线界面，对英文元素做备注说明，方便客户区分，界面对客户更加友好 ⑤自动生成测试报告，测试历史数据查看、检索等 ⑥行业解决方案，如精密部件钕铁硼镀镍镀铜再镀镍，电泳漆测厚度，铝塑膜测试镀铝的厚度等